光学芯片及其生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202110260479.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113135547A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113135547A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 侯继东 | 申请（专利权）人 | 苏州深水渔半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州睿昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈彬彬 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市太仓市大连东路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光学芯片及其生产方法，一种光学芯片，包括：衬底层、一对转轴和微镜；所述微镜通过一对所述转轴被锚定在所述衬底层上，一对所述转轴分布在所述微镜的两侧；其中，在外加电场或磁场的作用下，所述微镜发生转动，一对所述转轴向远离所述衬底层的方向发生弯曲从而形成拱形。本发明的有益效果：一对所述转轴向远离所述衬底层的方向发生弯曲从而形成拱形，通过改变转轴的形状抑制所受外力导致转轴的向下弯曲变形，从而增大旋转角度的范围。 |
