一种用于芯片加工的刻蚀机

基本信息

申请号 CN201820794831.4 申请日 -
公开(公告)号 CN208433374U 公开(公告)日 2019-01-25
申请公布号 CN208433374U 申请公布日 2019-01-25
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 刘勇 申请(专利权)人 盐城赛威电子科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 224051 江苏省盐城市亭湖区南洋镇太湖路99号电子信息产业园16号楼3楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于芯片加工的刻蚀机,包括储槽,所述储槽的上端通过支架安装有水平设置的把手,且储槽的下端胶接有固定块,固定块的下端插设有活动块,固定块与活动块之间胶接有第一弹簧,活动块上开设有凹槽,且固定块上开设有两个L型的导流槽,导流槽的下端与凹槽的匹配连接,并且固定块的外侧套接有防护罩,防护罩的下端为开口状,且防护罩的上端胶接有第二弹簧,第二弹簧的上端与储槽的下端胶接连接,刻蚀完毕后,向上慢慢移动把手,此时活动块与芯片分离,防护罩内部的刻蚀液在引风机的作用下被吸入到回收槽内,使得芯片上不会残留过多的刻蚀液,不容易造成刻蚀液的外泄,保护操作人员的健康。