一种用于芯片加工的刻蚀机
基本信息
申请号 | CN201820794831.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208433374U | 公开(公告)日 | 2019-01-25 |
申请公布号 | CN208433374U | 申请公布日 | 2019-01-25 |
分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 刘勇 | 申请(专利权)人 | 盐城赛威电子科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 224051 江苏省盐城市亭湖区南洋镇太湖路99号电子信息产业园16号楼3楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于芯片加工的刻蚀机,包括储槽,所述储槽的上端通过支架安装有水平设置的把手,且储槽的下端胶接有固定块,固定块的下端插设有活动块,固定块与活动块之间胶接有第一弹簧,活动块上开设有凹槽,且固定块上开设有两个L型的导流槽,导流槽的下端与凹槽的匹配连接,并且固定块的外侧套接有防护罩,防护罩的下端为开口状,且防护罩的上端胶接有第二弹簧,第二弹簧的上端与储槽的下端胶接连接,刻蚀完毕后,向上慢慢移动把手,此时活动块与芯片分离,防护罩内部的刻蚀液在引风机的作用下被吸入到回收槽内,使得芯片上不会残留过多的刻蚀液,不容易造成刻蚀液的外泄,保护操作人员的健康。 |
