立式真空玻璃镀膜线

基本信息

申请号 CN201910573571.7 申请日 -
公开(公告)号 CN110318029B 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN110318029B 申请公布日 2021-07-13
分类号 C23C14/56;C03C17/00 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 王志刚;章其初 申请(专利权)人 常州长江功能玻璃股份有限公司
代理机构 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 代理人 肖兴江
地址 213125 江苏省常州市新北区薛家镇顺园路35号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种立式真空玻璃镀膜线,进出架室的输入口设有门阀,进出架室上还设有抽真空机组,进出架室与镀膜室之间通过隔离阀连接,进出架室内设有放电清洗组件,所述进出架室内具有对应放电清洗组件的第一位置、对应隔离阀的第二位置以及为空闲位的第三位置,还包括:第一移动装置,该第一移动装置设置于所述进出架室内,第一移动装置包括:沿着进出架室纵向移动的第一移动座组件;设置于移动座组件上的第一传送机构;设置于移动座组件上的第二传送机构;第一移动座组件工作时,所述第一传送机构在第一位置和第二位置之间切换,所述第二传送机构在第二位置和第三位置之间切换。本发明具有提高生产效率的优点。