含无氟光致产酸剂的可降解型树脂单体及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110695006.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113429377A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113429377A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C07D317/72（2006.01）I;C07C381/12（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 傅志伟;潘新刚;邵严亮;薛富奎;余文卿 | 申请（专利权）人 | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 代理机构 | 合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于可降解型光刻胶树脂单体，公开了一种含无氟光致产酸剂的可降解型树脂单体及其制备方法和应用，其结构通式如下：1其中，P1、P3、P3各自独立的为氢或者烷基。其制备方法为，丙二酰氯Ⅰ与4‑羟甲基环己酮经酯化反应形成中间体Ⅱ；中间体Ⅱ经磺化反应生成中间体Ⅲ；中间体Ⅲ与三苯基卤化硫或者取代苯基卤化硫反应生成中间体Ⅳ；中间体Ⅳ与2‑甲基‑2‑丙烯酸‑2,3‑二羟基丙酯反应形成半缩醛结构的树脂单体Ⅴ。本发明的树脂单体结合有光致产酸剂，具有防止光致产酸剂的扩散，改善边缘粗糙度，增加对比度，提高分辨率的性能，且制备方法简单方便。 |
