一种由2-环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用

基本信息

申请号 CN202110700758.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113429293A 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN113429293A 申请公布日 2021-09-24
分类号 C07C69/54(2006.01)I;C07C67/08(2006.01)I;C07C35/21(2006.01)I;C07C29/00(2006.01)I;C07F7/18(2006.01)I;C07D305/06(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 傅志伟;邵严亮;余文卿;薛富奎;刘司飞;李静 申请(专利权)人 徐州博康信息化学品有限公司
代理机构 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 王金良
地址 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及光刻胶技术领域,公开了一种由2‑环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用,所述可降解型树脂单体的结构通式如下:其中R为烷基或杂烷基。可降解型树脂单体上含有叔丁基结构,在曝光时,光致产酸剂会产生酸,在酸的作用下,叔丁基结构会断开,导致聚合主链断开,形成小片段,能够改善光刻图形的边缘粗糙度,提高光刻胶的分辨率,断开后形成了具有良好碱溶性的羟基,有利于显影过程中的溶解,增加曝光后光刻胶在显影液中溶解速度,增大光刻胶的对比度。