一种光刻胶树脂单体及其合成方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110688845.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113429292A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113429292A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C07C69/54（2006.01）I;C07C69/96（2006.01）I;C07C67/08（2006.01）I;C07C68/00（2020.01）I;G03F7/027（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 傅志伟;潘新刚;薛富奎;刘司飞;纪兴跃;李静 | 申请（专利权）人 | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 代理机构 | 合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光刻胶树脂单体，公开了一种光刻胶树脂单体及其合成方法和应用，涉及光刻胶领域，所述树脂单体的结构为式Ⅰ：该结构中，n为1～10的整数，R1为氢、甲基或者氟代烷烃,R2为氢或者一价有机基团，且R2为一价有机基时，R2通过与相邻的O原子形成酯基或者碳酸酯基与多元环相连，且该结构的多元环上的氢原子可以被1～10个碳原子数的烷基取代。本发明提供了一种新的光刻胶树脂单体，有利于改善光刻图形的线宽粗糙度、焦点深度（DOF）和断面的矩形性，并且可以在一定程度上抑制光刻过程后烘导致的模收缩，提高光刻图形的分辨率。 |
