一种碱溶性良好的光刻胶酸敏树脂单体及其合成方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110694962.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113493382A | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN113493382A | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | C07C67/14（2006.01）I;C07C69/54（2006.01）I;C07C45/63（2006.01）I;C07C49/457（2006.01）I;C07C45/64（2006.01）I;C07C49/517（2006.01）I;C07C41/30（2006.01）I;C07C43/196（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 傅志伟;潘新刚;邵严亮;余文卿;纪兴跃;郭有壹 | 申请（专利权）人 | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 代理机构 | 合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种碱溶性良好的光刻胶酸敏树脂单体及其合成方法和应用，涉及光刻胶树脂单体领域，光刻胶树脂单体的结构式为：1其中R2为甲基或者氢，R3为烷基,为碳原子数3‑15的脂肪环，R为烷基。该树脂单体能增加光刻胶的耐刻蚀性能，改善与晶圆的粘附力，并且能够增加光刻胶在曝光前后的碱溶性差，有利于改善光刻胶的线边缘粗糙度，提高分辨率。 |
