一种光刻胶酸敏树脂单体及其合成方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110688844.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113620921A | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN113620921A | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | C07D317/32（2006.01）I;C07D317/72（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 傅志伟;潘新刚;薛富奎;纪兴跃;刘司飞 | 申请（专利权）人 | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 代理机构 | 合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶酸敏树脂单体及其合成方法和应用，所述光刻胶树脂单体的结构式为：1其中R2为甲基或者氢，R3和R2独立的为氢或者烷基，或者R3和R2之间通过共价键形成碳原子数3‑15的环状结构，R为酸敏基团。该树脂单体能提高分辨率，减小线宽粗糙度，粘附力好，耐刻蚀。 |
