一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110688917.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113429324A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113429324A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C07C323/19（2006.01）I;C07C319/20（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 傅志伟;潘新刚;邵严亮;余文卿;陆伟 | 申请（专利权）人 | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 代理机构 | 合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王金良 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及光刻胶技术领域，且公开了一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用。所述树脂单体的结构为：1其中，R2为H或者甲基，R1为C12‑C1的烷烃，L2、L1为二价连接键，A2、A3、A3、A3各自独立的为F、H或者CF1，且A2、A3、A3、A3中至少有一个为F或者CF。本发明特定结构的树脂单体，光致产酸的锍盐基团与不饱和丙烯酸酯连接，聚合后结合在树脂上，可有效防止酸的扩散，并且其阴阳离子在同一个结构中，进一步抑制了酸的扩散，能够有效的降低线边缘粗糙度，提高分辨率。 |
