一种多层石墨烯的刻蚀方法
基本信息
| 申请号 | CN201610515119.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106128947B | 公开（公告）日 | 2019-01-29 |
| 申请公布号 | CN106128947B | 申请公布日 | 2019-01-29 |
| 分类号 | H01L21/306（2006.01）I; H01L21/3065（2006.01）I; G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李恕广; 李泰胧; 王连军 | 申请（专利权）人 | 烟台市烯能新材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 烟台上禾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘志毅 |
| 地址 | 264000 山东省烟台市牟平区官庄4街2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多层石墨烯的刻蚀方法，包括：A、在多层石墨烯的表面涂刷光刻胶，然后对光刻胶进行曝光处理，然后使用显影液对光刻胶进行清洗；B、根据刻蚀深度的不同，在光刻胶相应的位置涂刷不同厚度的刻蚀缓冲剂；C、将多层石墨烯放入反应腔室内，腔室抽真空；向反应腔室内注入乙烷，然后对反应腔室进行加热，并开启射频电源，对多层石墨烯的表面进行第一次刻蚀；D、用去离子水对经过第一次刻蚀的多层石墨烯进行清洗，然后自然风干；E、将多层石墨烯浸入酸性刻蚀液中，进行第二次刻蚀；F、使用剥离液对多层石墨烯表面残留的光刻胶进行清除。本发明可以解决现有技术的不足，实现了对于刻蚀过程的精确控制。 |
