一种用于钛金属氧碳共渗的装置

基本信息

申请号 CN201610221225.9 申请日 -
公开(公告)号 CN105755426B 公开(公告)日 2018-10-09
申请公布号 CN105755426B 申请公布日 2018-10-09
分类号 C23C8/28 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 罗小峰;高广睿;王宝云;屈静;刘晶;郑晓晨 申请(专利权)人 陕西秦农农村商业银行股份有限公司未央支行
代理机构 陕西增瑞律师事务所 代理人 西安赛福斯材料防护有限责任公司
地址 710200 陕西省西安市经济开发区泾渭新城新材料产业园泾高西路中段
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于钛金属氧碳共渗的装置,包括真空室,所述真空室上方设有进气口和压力表,真空室的下方设有泵组,真空室内还设置有发热体;在真空室的内壁上盘绕有与进气口联通的进气预热管,进气预热管自真空室上方的进气口绕真空室内壁成环形向下绕行,进气预热管绕至真空室下方,进气预热管的出气口设置在物料架的下方,物料架的中部放置钛件,两侧放置纯石墨。本发明采用对进气二氧化碳进行预热处理的方式,且预热处理在发热体后侧进行,对主工作区温度几乎没有影响,预热气体进入真空室后可以更好的与纯石墨进行反应,从而生成稳定的一氧化碳与钛金属进行反应,有效保证了产品质量。