一种表面缺陷检测装置和判断表面缺陷所在表面的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110177653.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112986258A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112986258A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/01 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王磊 | 申请（专利权）人 | 厦门威芯泰科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门龙格专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 娄烨明 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市集美区环珠路335号第五层之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种表面缺陷检测装置和判断表面缺陷所在表面的方法，所述装置用于检测相对其沿第一方向运动的透明待测物体上的表面缺陷，其包括两个光源和两个相机；两个光源关于待测物体表面的法平面对称且均斜射待测物体表面以在待测物体表面形成重合的照射区；两个相机均为线扫相机且均位于两个光源的暗场，其光轴分别与待测物体表面具有垂直相交和倾斜相交关系且在照射区内相交于同一交点并共同界定出垂直于所述法平面的平面；所述方法基于所述装置并根据同一表面缺陷在两个相机的合成图像中显现出的缺陷像的对应关系判断该表面缺陷所在表面，尤其适用于沿所述第一方向具有一定尺度的表面缺陷。 |
