表面缺陷显像装置和表面缺陷检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202110174946.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112964727A | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN112964727A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/01 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王磊 | 申请（专利权）人 | 厦门威芯泰科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门龙格专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 娄烨明 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市集美区环珠路335号第五层之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了表面缺陷显像装置和表面缺陷检测设备。表面缺陷显像装置包括光源和相机，光源设有垂直于待测物体运动方向的折边，相机的光轴与折边虚像垂直相交并与待测物体的第一表面交于第一点，过第一点且垂直于待测物体运动方向设有第一平面，过第一点和折边设有第二平面，光轴与第一平面的第一夹角等于第一点至折边的垂线与第一平面的第二夹角，且光源任何部分均不位于第一平面与第二平面之间的区域。表面缺陷检测设备中表面缺陷检测装置将相机连续拍摄的图像合成为合成图像，并在识别到合成图像中待测表面区域内灰度值变化超过阈值时判定待测表面存在缺陷。上述方案能在光源距离待测物体表面较近的情况下避免干扰反射光对调制效果的影响。 |
