表面裂缝和划痕显像装置及相关的检测设备

基本信息

申请号 CN202110176803.2 申请日 -
公开(公告)号 CN112986257A 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN112986257A 申请公布日 2021-06-18
分类号 G01N21/88;G01N21/01 分类 测量;测试;
发明人 王磊 申请(专利权)人 厦门威芯泰科技有限公司
代理机构 厦门龙格专利事务所(普通合伙) 代理人 娄烨明
地址 361000 福建省厦门市集美区环珠路335号第五层之一
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了表面裂缝和划痕显像装置及相关的检测设备,其中,显像装置用于显像沿第一方向运动的透明待测物体平坦的第一表面上的裂缝和划痕,其包括光源和相机,光源的发光部沿平行于第一表面且垂直于第一方向设有第一边,第一边以第一表面为平面反射镜形成第一边虚像;相机被配置为其光轴指向所述第一表面的部分与所述光源分设于第一平面的两侧,以使所述相机的视场为暗场;所述第一平面为平行于所述光轴且过所述第一边虚像的平面。检测设备还包括表面裂缝和划痕检测装置,其用于合成图像,并在识别到合成图像中灰度值超过阈值时判定第一表面存在裂缝或划痕。