铟镓砷光电探测器芯片制作的箱式锌扩散方法
基本信息
| 申请号 | CN200410036170.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN100472719C | 公开（公告）日 | 2009-03-25 |
| 申请公布号 | CN100472719C | 申请公布日 | 2009-03-25 |
| 分类号 | H01L21/22(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐之韬;邱树添 | 申请（专利权）人 | 厦门三安电子有限公司 |
| 代理机构 | 厦门原创专利事务所 | 代理人 | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 地址 | 361009福建省厦门市思明区吕岭路1721-1725号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了铟镓砷光电探测器芯片制作的箱式锌扩散方法：将锌扩散源和扩散晶片放入位于扩散管中的石英箱中，经抽真空/充氮气循环，在氮气保护气体中进行锌扩散，用这种方法获得的芯片不仅和真空封管扩散所获得的芯片具有同样的均匀性，重复性和光电特性，而且工艺简单，方便，安全，成本低，适合于大批量生产。 |
