一种固体润滑多层复合膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510989894.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105568215B | 公开（公告）日 | 2018-11-13 |
| 申请公布号 | CN105568215B | 申请公布日 | 2018-11-13 |
| 分类号 | C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35;C23C28/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 韦春贝;代明江;侯惠君;林松盛;李琪;石倩;胡芳;赵利;曾威 | 申请（专利权）人 | 广州有色金属研究院 |
| 代理机构 | 广东世纪专利事务所有限公司 | 代理人 | 广东省新材料研究所;广东省科学院新材料研究所 |
| 地址 | 510651 广东省广州市天河区长兴路363号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种固体润滑多层复合膜及其制备方法。固体润滑多层复合膜依次由基体（1）、金属底层Me（2）、CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS2‑Me层（5）构成。其制备方法：采用磁控溅射方法，首先在基体（1）上沉积金属底层（2），然后依次沉积CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS2‑Me层（5），交替沉积形成多层结构，最外层为MoS2‑Me层（5）。本发明的多层结构的固体润滑复合膜具有结合强度高、摩擦系数低的性能特点，摩擦系数低至0.06，具有优良的自润滑、抗咬合性能和耐磨寿命，可应用在轴承、齿轮、叶片、工模具等部件上。 |
