一种晶舟盒的开盖装置及其开盖方法

基本信息

申请号 CN201911333818.4 申请日 -
公开(公告)号 CN111128817B 公开(公告)日 2022-02-22
申请公布号 CN111128817B 申请公布日 2022-02-22
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 赵永会 申请(专利权)人 合肥颀中科技股份有限公司
代理机构 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 秦蕾
地址 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶舟盒的开盖装置和开盖方法。所述开盖装置包括底座、转盘和用以固定晶舟盒的固定元件,所述转盘可旋转地固定设置于所述底座上,所述固定元件安装至所述转盘上,并可在所述转盘的作用下转动。通过转盘对固定元件的位置进行调整,方便人员操作晶舟盒,而固定元件采用斜坡式设计,使得放在固定元件上面的晶舟盒具有一定的倾斜角度,能够防止晶片从晶舟盒中滑出,避免造成不必要的损失。