一种晶舟盒的开盖装置及其开盖方法
基本信息
申请号 | CN201911333818.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111128817B | 公开(公告)日 | 2022-02-22 |
申请公布号 | CN111128817B | 申请公布日 | 2022-02-22 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 赵永会 | 申请(专利权)人 | 合肥颀中科技股份有限公司 |
代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 秦蕾 |
地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种晶舟盒的开盖装置和开盖方法。所述开盖装置包括底座、转盘和用以固定晶舟盒的固定元件,所述转盘可旋转地固定设置于所述底座上,所述固定元件安装至所述转盘上,并可在所述转盘的作用下转动。通过转盘对固定元件的位置进行调整,方便人员操作晶舟盒,而固定元件采用斜坡式设计,使得放在固定元件上面的晶舟盒具有一定的倾斜角度,能够防止晶片从晶舟盒中滑出,避免造成不必要的损失。 |
