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一种晶圆切割台冷却水管高度检测装置

基本信息

申请号 CN202021303619.7 申请日 -
公开（公告）号 CN214447514U 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN214447514U 申请公布日 2021-10-22
分类号 B28D5/00;B28D7/02;G01G21/00;H05K5/06 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 曹斌 申请（专利权）人 合肥颀中科技股份有限公司
代理机构 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 胡彭年
地址 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆切割台冷却水管高度检测装置，包括高度指示件和检测件；所述高度指示件具有支撑板和垂直设置在所述支撑板上的指示板，所述支撑板上具有用于与切割刀转轴连接固定的安装定位孔，所述指示板距离所述定位孔中心的距离等于待安装刀片的刀刃到切割刀转轴中心的距离；所述检测件用于检测冷却水管距离所述指示板的距离。本实用新型通过高度指示件将刀刃的位置转化到与冷却水管相对的指示板上，然后通过检测件测量指示板和冷却水管之间的间距是否满足要求，从而更好的调整冷却水管的高度，避免了冷却水管的设置不当造成的冷却效果差或者划伤晶圆的情况出现。