一种治具
基本信息
| 申请号 | CN202023348241.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213957834U | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN213957834U | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘强;杨彦伟 | 申请（专利权）人 | 深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李雪鹃;牛悦涵 |
| 地址 | 518071广东省深圳市南山区学苑大道1001号南山智园A5栋4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 涉及晶圆载具技术领域，本申请公开一种治具，包括工作台，所述工作台设有至少一个第一凹槽和至少一个用于标胶的第二凹槽，所述第一凹槽的侧壁与晶圆抵接；所述第二凹槽设于所述第一凹槽的外周，且所述第二凹槽与所述第一凹槽相通。本实用新型，利用第一凹槽放置晶圆，方便晶圆在标胶、光刻等工序中完成加工，第二凹槽用于标胶使用，且与第一凹槽相通，能够使得粘胶与晶圆的侧面粘接，且具有较大的粘结面积，保证粘胶标记的完整性和可参照效果。在不同的加工步骤中，通过粘胶标记保证晶圆的放置方位保持一致，保证每次步骤中的标记图形保持重合，从而保证光刻质量。 |
