湿法腐蚀装置
基本信息
| 申请号 | CN201720325841.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206961796U | 公开（公告）日 | 2018-02-02 |
| 申请公布号 | CN206961796U | 申请公布日 | 2018-02-02 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/306 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陆一峰;刘格;杨彦伟;刘胜宇;曾建武 | 申请（专利权）人 | 深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司 |
| 地址 | 518071 广东省深圳市南山区学苑大道1001号南山智园A5栋4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种湿法腐蚀装置，包括：壳体支架；旋转组件，设于壳体支架上，旋转组件包括：可旋转的安装盘，安装盘的放置面与铅垂线平行，放置面用于放置待进行湿法腐蚀的晶圆片。通过本实用新型的技术方案，增加了腐蚀液体的流动性，有效提高了湿法腐蚀工艺的均一性和可靠性。 |
