一种精确定温的方法
基本信息
申请号 | CN201910109811.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111551254A | 公开(公告)日 | 2020-08-18 |
申请公布号 | CN111551254A | 申请公布日 | 2020-08-18 |
分类号 | G01J5/00(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘欣宇;袁振洲 | 申请(专利权)人 | 江苏超芯星半导体有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 100101北京市通州区经海五路1号院58号楼1层2-101-1005 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种精确定温的方法,包括:选择已知固定熔点的纯净物质,所述纯净物质的熔点为Tm;将所述纯净物质置于测温点附近;在设备升温过程中,在所述纯净物质熔化或升华的瞬间,将所述测温点的温度T1定温为Tm;测温仪的实际度数校准为Tm。本发明利用纯净物质在固定温度熔化或升华的原理,进行定温。成功解决(1)难以或无需测温过程,又需要参考温度;(2)挥发物遮挡或堵塞测温口,测温仪难以对准或接触到被测物质;(3)测温仪校准的问题。提高了测温值的准确度,并可对设备的温度进行连续测量,使系统能够对温度数据进行实时采集、实时分析处理,有效控制设备的运行过程。 |
