一种精确定温的方法

基本信息

申请号 CN201910109811.8 申请日 -
公开(公告)号 CN111551254A 公开(公告)日 2020-08-18
申请公布号 CN111551254A 申请公布日 2020-08-18
分类号 G01J5/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘欣宇;袁振洲 申请(专利权)人 江苏超芯星半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100101北京市通州区经海五路1号院58号楼1层2-101-1005
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种精确定温的方法,包括:选择已知固定熔点的纯净物质,所述纯净物质的熔点为Tm;将所述纯净物质置于测温点附近;在设备升温过程中,在所述纯净物质熔化或升华的瞬间,将所述测温点的温度T1定温为Tm;测温仪的实际度数校准为Tm。本发明利用纯净物质在固定温度熔化或升华的原理,进行定温。成功解决(1)难以或无需测温过程,又需要参考温度;(2)挥发物遮挡或堵塞测温口,测温仪难以对准或接触到被测物质;(3)测温仪校准的问题。提高了测温值的准确度,并可对设备的温度进行连续测量,使系统能够对温度数据进行实时采集、实时分析处理,有效控制设备的运行过程。