一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构

基本信息

申请号	CN202120175141.2	申请日	-
公开（公告）号	CN214068702U	公开（公告）日	2021-08-27
申请公布号	CN214068702U	申请公布日	2021-08-27
分类号	H01L21/67（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	张静;方超;邓信甫;刘大威;陈丁堃	申请（专利权）人	至微半导体（上海）有限公司
代理机构	北京沁优知识产权代理有限公司	代理人	刘富艳
地址	200000上海市闵行区紫海路170号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其技术方案要点是包括外壳，通过在外壳内设置分隔组件，使得气流空间分隔成第一空间和第二空间，通过在第三隔板上设置两个通气组件，使得工艺槽体区域和排气区域相互连通，通过在第三隔板上设置容纳组件，以防止酸气回流，通过在第二隔板上设置阻挡组件，以防止凝结液进入通气组件，通过在排气管内设置调节组件，以调节排气管开口的大小，通过在气流空间上设置导流组件，以加快气流空间内气体的流速，通过在外壳上设置隐蔽组件，以收纳FFU壳体的电线，通过在FFU壳体和走线壳体之间设置嵌合组件，使得FFU壳体与走线壳体相互贯通，通过在外壳上设置定位组件，以定位FFU壳体。