一种应用于湿法设备的晶圆导片机构
基本信息
| 申请号 | CN202023280003.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214226889U | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN214226889U | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邓信甫;陈佳炜;徐铭;李志锋;刘大威 | 申请（专利权）人 | 至微半导体（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海申新律师事务所 | 代理人 | 沈栋栋 |
| 地址 | 200241上海市闵行区紫海路170号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种应用于湿法设备的晶圆导片机构，涉及到半导体技术领域，包括水平导片机构，水平导片机构包括对称设置的两旋转式承载平台模块，和设于其中一旋转式承载平台模块下侧的晶圆片侦测计数机构，以及设于其中一旋转式承载平台模块的一侧的推片机构。其具有较强的稳定性、灵活性、完整性以及广用性。 |
