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一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构

基本信息

申请号 CN202120176836.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213936137U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213936137U 申请公布日 2021-08-10
分类号 H01L21/67;B08B15/04 分类 基本电气元件;
发明人 张静;邓信甫;徐铭;陈佳炜;李志锋;刘大威 申请（专利权）人 至微半导体（上海）有限公司
代理机构 北京沁优知识产权代理有限公司 代理人 刘富艳
地址 200000 上海市闵行区紫海路170号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括气流空间，气流空间位于外壳顶部，气流空间内设置有分隔部和导流部，通过分隔板将气流空间分成第一空间和第二空间，机器手臂区域位于第一空间下方，工艺槽体区域位于第二空间下方，工艺槽体区域内进行化学反应之后，酸气向上挥发至第二空间，通过分隔板使得酸气难以进入第一空间，使得机器手臂区域的器械不受腐蚀，将第一导流板设置于第一空间内，将第二导流板设置于第二空间内，且第一导流板和第二导流板均倾斜设置，FFU系统中的气流从上往下流经第二导流板之后，气流的流速变快，从而带动酸气远离第二空间。