硅晶片碱腐蚀废液的回收处理方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201210275215.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103570167A | 公开（公告）日 | 2014-02-12 |
| 申请公布号 | CN103570167A | 申请公布日 | 2014-02-12 |
| 分类号 | C02F9/06(2006.01)I | 分类 | 水、废水、污水或污泥的处理; |
| 发明人 | 张新华;范琼;潘加永 | 申请（专利权）人 | 库特勒自动化系统（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 库特勒自动化系统（苏州）有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市兴吴路71号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种化学腐蚀废液的回收处理方法和系统，所述方法采用电解技术与离子交换膜技术相结合实现硅晶片的碱腐蚀废液的回收利用。本发明所涉及的回收处理方法可以减少碱腐蚀液的消耗，避免大量废水的排放，从而做到降低生产成本，节约能源，保护环境，同时本发明的回收处理系统操作简单，回收处理系统几乎可实现零污染排放。 |
