酸槽产品保护系统
基本信息
申请号 | CN202021960890.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213951346U | 公开(公告)日 | 2021-08-13 |
申请公布号 | CN213951346U | 申请公布日 | 2021-08-13 |
分类号 | C23G3/00(2006.01)I;H05K7/14(2006.01)I;H05K5/02(2006.01)I;H02J9/04(2006.01)I;H02J9/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 王乃斌 | 申请(专利权)人 | 和舰芯片制造(苏州)股份有限公司 |
代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨帆;宋薇薇 |
地址 | 215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种酸槽产品保护系统,包括:机台、PLC、第一电磁阀组、气体阀件、酸槽、DC电源、第二电磁阀组和电器组件,其中PLC、第一电磁阀组、气体阀件、酸槽和DC电源位于机台上,PLC与第一电磁阀组通信,第一电磁阀组与气体阀件通信,气体阀件连接至酸槽,第二电磁阀组和电器组件位于机台外,电器组件与第二电磁阀组通信,第二电磁阀组与气体阀件通信,并且电器组件被配置为响应于以下异常信号中的任一个而启动:PLC异常信号、DC电源异常信号和EMO停止异常信号。本实用新型的保护系统在发生机台PLC等异常时能够启动产品保护机制,实时高效保护产品,大大降低产品异常率,避免机台异常造成的巨大损失。 |
