一种晶圆对准度检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202022840538.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213340328U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213340328U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李长江;王云峰;赵壮壮 | 申请（专利权）人 | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘小峰;杨帆 |
| 地址 | 215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆对准度检测装置，包含：摄像头；显示与分析装置，显示与分析装置与摄像头通信连接；治具，治具可定位至用于固定晶圆的部件，并且治具包含：底座，底座呈扁平状，且中心设置有通孔；摄像头支架，摄像头支架安装于底座的上表面。该晶圆对准度检测装置通过摄像头捕获喷嘴尖端附近的图像并将图像传送至显示与分析装置进行分析，相比于传统的目测有效提高了准确度。 |
