一种用于反应腔上部电源线接头的固定治具

基本信息

申请号 CN202120417444.0 申请日 -
公开(公告)号 CN214204114U 公开(公告)日 2021-09-14
申请公布号 CN214204114U 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01R13/56;H01R13/502;H01R13/629;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 倪金金 申请(专利权)人 和舰芯片制造(苏州)股份有限公司
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 代理人 张涛;李红萧
地址 215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于反应腔上部电源线接头的固定治具,接头包含固定至反应腔上盖并位于方形保护罩内的第一接头部分和连接至电源线的第二接头部分,固定治具包含:可拆卸地固定至保护罩的第一部分;以及可拆卸地固定至电源线的第二部分;其中,第一部分和第二部分的相对位置固定。该固定治具能够相对于保护罩和位于其内部的接头固定电源线,从而有效避免因第二接头与电源线连接处反复弯折和/或拉扯以及反复拆卸导致的接头失效。