基于光学原理的多轴力传感器

基本信息

申请号 CN202011193267.9 申请日 -
公开(公告)号 CN112213009A 公开(公告)日 2021-01-12
申请公布号 CN112213009A 申请公布日 2021-01-12
分类号 G01L1/24(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 白仲皖 申请(专利权)人 华力创科学(深圳)有限公司
代理机构 深圳市中科创为专利代理有限公司 代理人 华力创科学(深圳)有限公司
地址 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝荷大道76号智慧家园B座2101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于光学原理的多轴力传感器,其包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件。感测件具有中空设置的外围部和设置于外围部中心位置的承载部,承载部与外围部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与外围部连接,承载部在外力作用下相对外围部发生偏转或移动。封盖件与承载部之间设置检测承载部相对外围部的偏转量或移动量的第一位移检测器。由此,以提供结构简单,便于制造生产的多轴力传感器。