一种应用真空闪蒸辅助狭缝涂布的钙钛矿薄膜制备方法

基本信息

申请号 CN202111195048.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113871538A 公开(公告)日 2021-12-31
申请公布号 CN113871538A 申请公布日 2021-12-31
分类号 H01L51/48(2006.01)I;H01L51/42(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 董弋;徐诚;易海芒;王知萌;黄志荣 申请(专利权)人 深圳黑晶光电技术有限公司
代理机构 广东广盈专利商标事务所(普通合伙) 代理人 李俊
地址 518101广东省深圳市宝安区新安街道大浪社区裕安二路362号大家好广场厂房B栋502
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种应用真空闪蒸辅助狭缝涂布的钙钛矿薄膜制备方法,其中,所述方法包括:配制钙钛矿的前驱体溶液;基于所述前驱体溶液利用多段式注液工艺配合狭缝涂布制备钙钛矿的前驱体薄膜;基于真空闪蒸工艺辅助所述前驱体薄膜的成膜处理,获得所述钙钛矿的前驱体成膜;将所述钙钛矿的前驱体成膜在热台上进行退火处理,获得钙钛矿薄膜。在本发明实施例中,具有操作简单、可操作性与稳定性强等特点,适合连续制造大面积钙钛矿薄膜层,在钙钛矿太阳能电池的产业化应用具有巨大的潜在价值。