下开盖式长晶炉
基本信息
申请号 | CN201410317654.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104088009B | 公开(公告)日 | 2016-04-20 |
申请公布号 | CN104088009B | 申请公布日 | 2016-04-20 |
分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 王央文;杨宏伟 | 申请(专利权)人 | 江苏阳帆机电设备制造有限公司 |
代理机构 | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 高之波;邬玥 |
地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市上兴镇工业集中区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了下开盖式长晶炉,包括炉壳、下盖,炉壳设有朝下的下开口、下盖配合下开口设置,炉壳内设有加热器,加热器与炉壳之间设有隔热层,加热器内设有坩埚,下盖与坩埚之间设有热交换器,热交换器位于坩埚底部放置晶籽的位置。本发明的装卸料动作可以在地面上完成。装料时只要把炉体下盖下降,把坩埚和籽晶搬到下盖上,操作极为方便,此外晶体长成后的卸料也相当方便。 |
