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一种SiCl4气体加热装置

基本信息

申请号 CN201120096452.6 申请日 -
公开（公告）号 CN202046889U 公开（公告）日 2011-11-23
申请公布号 CN202046889U 申请公布日 2011-11-23
分类号 C01B33/027(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 刘岗;周大荣;孙建荣;蒋敏;孙兵 申请（专利权）人 连云港中彩科技有限公司
代理机构 南京众联专利代理有限公司 代理人 连云港中彩科技有限公司
地址 222000 江苏省连云港市连云区连云经济开发区板桥工业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种SiCl4气体加热装置，设有炉体，炉体上设有进气口和出气口，在炉体内壁上设有电加热排，炉体内设有与进气口和出气口相连接的换热盘管，换热盘管呈螺旋状盘绕成内、中、外三层换热柱，在内层换热柱与中间层换热柱之间设有内加热筒，在炉体内的顶部设有循环风机。外层换热柱与炉体内壁之间为气流下行通道，相邻换热柱之间为气流上行通道，循环风机设有与气流上行通道相对的吸风口，在循环风机的四周设有与气流下行通道相对应的导流板，炉体底部设有导流道。采用间接加热方式，并通过循环风机强制内循环，加热均匀，炉体不再与SiCl4气体直接接触，对设备腐蚀少，气体流动性好，无加热死角，设备使用寿命长，投资少。