西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统

基本信息

申请号	CN201020236525.2	申请日	-
公开（公告）号	CN201746333U	公开（公告）日	2011-02-16
申请公布号	CN201746333U	申请公布日	2011-02-16
分类号	C01B33/03(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	周大荣	申请（专利权）人	连云港中彩科技有限公司
代理机构	无锡市大为专利商标事务所	代理人	无锡中彩科技有限公司
地址	214183 江苏省无锡市惠山区玉祁镇工业集中区
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种“西门子”法制备多晶硅还原尾气回收系统，特征是：在尾气-淋洗气热交换器上设有尾气入口、尾气出口、尾液出口、冷却气入口和冷却气出口；在鼓泡淋洗塔的上端设有淋洗液入口、淋洗尾气入口、冷却尾气出口和淋洗液出口；尾气入口与尾气储罐连接，尾气出口与淋洗尾气入口连接，冷却气入口与冷却尾气出口连接，冷却气出口与氢压机连接，氢压机与压缩气-吸收气热交换器顶部的气体入口连接，尾液出口、淋洗液出口和压缩气-吸收气热交换器底部的液体出口与氯硅烷储罐连接，氯硅烷储罐与氯硅烷屏蔽泵连接，氯硅烷屏蔽泵与氯硅烷过冷器液体入口连接，氯硅烷过冷器液体出口利用管道与淋洗液入口连接。本实用新型实现了低成本、低能耗、高效率。