一种大型高致密铬靶的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201210156200.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102677005B | 公开（公告）日 | 2013-11-06 |
| 申请公布号 | CN102677005B | 申请公布日 | 2013-11-06 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;B22F3/16(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王广欣;钟小亮;豆帆 | 申请（专利权）人 | 烟台硕德新材料有限公司 |
| 代理机构 | 烟台双联专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 梁翠荣 |
| 地址 | 264006 山东省烟台市经济技术开发区高雄路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高致密铬靶的热压方法，该方法包括依次进行的：抽真空、分阶段升温升压、保压炉冷、热锻、退火、热轧、机加工，七个步骤。通过设计合理的工艺步骤，筛选稳定的工艺参数，达到了低成本制得大型高致密铬靶的目的。 |
