一种磷酸锂靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201110167850.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102249661B | 公开（公告）日 | 2012-08-08 |
| 申请公布号 | CN102249661B | 申请公布日 | 2012-08-08 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钟小亮;王树森;王广欣 | 申请（专利权）人 | 烟台硕德新材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 汪青 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号留学生创业园D-102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磷酸锂靶材及其制备方法，该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材的制备方法包括以下步骤：（1）提供磷酸锂粉末，并将其液压成型为坯件；（2）对所述的坯件进行冷等静压加工；（3）将经过步骤（2）的坯件置于炉中进行烧结，烧结过程采用了多阶段性升温加压的方式。按照本发明方法制备的磷酸锂靶材晶粒尺寸细小且致密度高。在适当条件下，溅射这些靶材能获得性能优良的薄膜，从而提高全固态薄膜锂离子电池的储能量和循环次数。 |
