一种晶圆自动化生产控制系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202010051444.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113138586A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113138586A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G05B19/418（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 金星勋 | 申请（专利权）人 | 无锡芯享信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵华 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园G10-1006 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种晶圆自动化生产控制系统及方法，包括1、控制模块、数据存储模块、通讯模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备；控制模块进行对自动化设备平台、数据存储模块、通讯模块和检测模块的控制；通讯模块进行对控制模块、数据存储模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备的数据传输；自动化设备平台进行接收指令对自动化设备进行起闭；自动化设备进行对晶元的各类生产操作；检测模块进行对自动化设备生产晶圆的过程和成品的检测；数据存储模块进行对自动化设备平台、检测模块的数据存储。本发明结构简单，操作方便，提高自动化监测效果和有效保证数据的安全性。 |
