一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管
基本信息
| 申请号 | CN201310554881.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103560147B | 公开（公告）日 | 2016-06-08 |
| 申请公布号 | CN103560147B | 申请公布日 | 2016-06-08 |
| 分类号 | H01L29/24(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘萍 | 申请（专利权）人 | 深圳丹邦投资集团有限公司 |
| 代理机构 | 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳丹邦投资集团有限公司 |
| 地址 | 518057 广东省深圳市高新技术产业园北区郎山一路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管，所述氮磷氧锌薄膜的组成为ZnxPyO1-x-y-zNz，其中，55%≤x≤65%，1%≤y≤10%，10%≤z≤22%，各原子的原子个数百分比之和为100%。通过离子溅射沉积该氮磷氧锌薄膜，同时对于给定薄膜材料制作的薄膜晶体管获得高载流子迁移率和高稳定性。 |
