铜锌锡硫太阳能电池的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410798196.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104576827B | 公开（公告）日 | 2016-12-07 |
| 申请公布号 | CN104576827B | 申请公布日 | 2016-12-07 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘萍 | 申请（专利权）人 | 深圳丹邦投资集团有限公司 |
| 代理机构 | 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳丹邦投资集团有限公司 |
| 地址 | 518057 广东省深圳市高新技术产业园北区郎山一路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种铜锌锡硫太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：在衬底层表面形成铝薄膜；在所述铝箔膜表面上形成ZnO薄膜；在所述ZnO薄膜上形成薄膜层，所述薄膜层包含铜、锌和锡；将包含所述衬底层、铝箔膜、ZnO薄膜和薄膜层的多层薄膜结构置于含硫气氛中退火处理，所述薄膜层被硫化形成铜锌锡硫薄膜层，部分所述ZnO薄膜被硫化形成ZnS缓冲层；在经过退火处理的所述薄膜层上形成背电极。 |
