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一种氮氧锌薄膜的制备方法

基本信息

申请号	CN201310426153.8	申请日	-
公开（公告）号	CN103474356B	公开（公告）日	2016-08-17
申请公布号	CN103474356B	申请公布日	2016-08-17
分类号	H01L21/363(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	刘萍	申请（专利权）人	深圳丹邦投资集团有限公司
代理机构	深圳新创友知识产权代理有限公司	代理人	深圳丹邦投资集团有限公司
地址	518057 广东省深圳市高新技术产业园北区郎山一路8号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种氮氧锌薄膜的制备方法，采用射频磁控溅射，以体积百分数99.9?99.999%的氮化锌靶为溅射靶材，靶材与衬底的距离为20?150mm，在一定的射频频率下，以体积百分数99.9?99.999%的氩气为溅射气体，衬底温度为25?150℃，在0.5?5W/cm²的功率密度下实施溅射，溅射室的背景真空小于1×10^?7托，先以所述氩气预溅射一段时间，再以体积百分数99.9?99.999%的氧气为反应气体，氧气流量0.1?60sccm，氩气流量5?100sccm，溅射压强0.1?10.0Pa，获得氮氧锌薄膜，其中，Zn原子数占51?66%，N∶O=1∶3～2∶1。本发明解决了氮在氧化锌中固溶度低的问题，制备得到的n型氮氧锌薄膜的载流子迁移率较高，电阻率较低。