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一种管式PECVD结构

基本信息

申请号	CN201720882670.X	申请日	-
公开（公告）号	CN207512258U	公开（公告）日	2018-06-19
申请公布号	CN207512258U	申请公布日	2018-06-19
分类号	C23C16/54;C23C16/44;H01L31/18	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	谢明会;赵洪俊;平国庆;何为晋	申请（专利权）人	太仓海润太阳能有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	奥特斯维能源（太仓）有限公司;太仓海润太阳能有限公司
地址	215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区平江路88号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种管式PECVD结构，包括单向阀，单向阀包括阀体和活塞组件，阀体的一端口与管式PECVD的炉管相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管相连通，炉管的连接阀体的端口位于活塞组件的底部、连接管的连接阀体的端口位于活塞组件的侧部，以使活塞组件将炉管和连接管隔开；当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动活塞组件向上运动，以使炉管和连接管连通，气体由炉管流入连接管内。本实用新型提出的管式PECVD结构，当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动活塞组件向上运动，使炉管内气体只能沿着真空泵抽气方向抽离，不会出现连接管内气体回流的情况。