一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备

基本信息

申请号 CN201811653940.5 申请日 -
公开(公告)号 CN109735823A 公开(公告)日 2019-05-10
申请公布号 CN109735823A 申请公布日 2019-05-10
分类号 C23C14/50(2006.01)I; C23C14/54(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 邹朝圣; 廖亚琳; 林荣川; 马肃霜 申请(专利权)人 厦门市万久物联技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 361021 福建省厦门市集美区坑坪路15号103单元之一
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,涉及PVD设备技术领域,该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,包括:固定卡头,固定卡头的顶部活动连接卡接头的外侧,固定卡头的顶部固定连接保护件的底部,固定卡头的底部活动连接吊杆的外侧,吊杆的两侧一端均开设有凹槽。该具有电路保护功能的激光诱导PVD设备,通过固定卡头保证了PVD设备的稳定,方便PVD设备高度的调整,通过螺纹板与螺纹筒的连接方便了固定卡头的更换,方便吊起不同规格的PVD设备,通过橡胶杆可以降低PVD设备在吊起时产生的下坠力,保证了PVD设备的安全,通过限位杆加固了吊杆的稳定,通过欠压保护模块可以有效的保护PVD设备电路的安全。