一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置
基本信息
| 申请号 | CN202111427198.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114141568A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114141568A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | H01H23/12（2006.01）I;H01H23/08（2006.01）I;H01H23/04（2006.01）I;H01H23/16（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蔡宇航;金補哲;叶新浩;厉冰峰 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海老虎专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 葛瑛 |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，包括：装置本体，装置本体的底部安装有底座，装置本体的顶面中部形成有内腔，装置本体的上方设置有上盖，装置本体的侧壁上固定连接有电动摇杆组件；电动摇杆组件包括固定盒、电机、托块和电动马达，电动马达和固定盒均与装置本体侧壁固定连接，且固定盒设置在电动马达的外侧，电机安装在固定盒的底部，电机的动力输出端和电动马达的动力输入端分别安装有齿轮且两个齿轮啮合连接。本发明通过电动的方式来代替现有技术中人工操作，电动摇杆操作简单，只需要点击遥感器上的开关就可以控制腔体的开关，遥感器有电源延长线，可以做到不接触腔体来控制腔体开关，避免了一些突发状况的发生。 |
