用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置
基本信息
| 申请号 | CN202111611765.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114166754A | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN114166754A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 兰海燕;康时俊;沈曙光 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海市汇业律师事务所 | 代理人 | 王函 |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其中，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动晶圆移动，且晶圆升降承载模块位于光学检测设备下方；距离检测模块，设于自动对焦装置中能够检测到晶圆与光学检测设备之间的间隔距离的位置，且距离检测模块与晶圆升降承载模块相连接。采用该自动对焦装置通过固定光学检测设备，采用晶圆升降承载模块调节晶圆位置来实现调焦，可更好地对晶圆进行拍摄，有效缩短整定时间，更令光学检测设备可更快地完成调焦，并且由于晶圆整体结构较轻，其并不会在垂直方向产生很大的惯量，从而降低对制动马达扭力的要求。 |
