一种基于涡轮分子泵薄膜生长设备的测漏阀门系统
基本信息
| 申请号 | CN202111427204.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114046941A | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN114046941A | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | G01M3/20（2006.01）I;F16K27/08（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蔡宇航;金補哲;叶新浩;厉冰峰 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海老虎专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 葛瑛 |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于涡轮分子泵薄膜生长设备的测漏阀门系统,包括闸口阀和涡轮增压阀，所述涡轮增压阀的底部内及外部之间设置有涡轮隔离阀，所述涡轮隔离阀上设置有转接装置，所述转接装置包括转接头和手动阀，所述手动阀的两端分别设置有连接管一和连接管二，所述转接头与连接管一之间以及连接管二内均设置有中心圈，所述转接头与连接管一之间的外部上以及连接管二的外部上均设置有卡箍，所述连接管二内与卡箍之间设置有闷板。本发明通过转接装置，可便捷的将氦气测漏仪与涡轮隔离阀相连接，无需将涡轮增压泵停止，节省了涡轮增压泵的停止和运行的时间，提升了工作效率。 |
