一种石英半导体研磨盘及应用该研磨盘的研磨设备
基本信息
| 申请号 | CN202122102968.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216030144U | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN216030144U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | B24B37/11（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王卫良;李士昌;刘超平;林保璋;曹飞 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种石英半导体研磨盘，包括盘体，盘体的一端面开设有若干料槽。本申请具有在研磨之前，将研磨剂填充在料槽中，随之启动驱动电机带动研磨盘转动，料槽中填充的研磨剂在离心力的作用下从料槽中溢出，研磨盘通过从料槽中溢出的研磨剂对石英件进行研磨，在料槽的限制下，有效研磨剂不易大量地在研磨盘的离心力的作用下从研磨盘上被甩飞，降低了有效研磨剂的浪费的同时，料槽中预填充的研磨剂会在研磨盘离心力的作用下对研磨盘顶壁上的研磨剂量进行补充，减少了工作人员停机补充研磨剂的次数，进而提高了研磨效率的效果。 |
