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晶圆吸附装置

基本信息

申请号 CN202111613982.8 申请日 -
公开（公告）号 CN114156223A 公开（公告）日 2022-03-08
申请公布号 CN114156223A 申请公布日 2022-03-08
分类号 H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 兰海燕;康时俊;沈曙光 申请（专利权）人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
代理机构 上海市汇业律师事务所 代理人 王函
地址 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种晶圆吸附装置，其中，包括主吸盘、数个扰性吸盘及升降驱动模块；数个所述扰性吸盘分布于所述主吸盘的吸盘体内；所述升降驱动模块分别与各个所述扰性吸盘相连接，用于带动各个所述扰性吸盘沿所述主吸盘的轴向上下移动。采用本发明的晶圆吸附装置可在需要对外部的翘曲的晶圆进行吸附时，先采用扰性吸盘对待吸附晶圆进行吸附，并在升降驱动模块的带动下下拉翘曲的晶圆，减少晶圆与主吸盘的吸盘体之间的间隙，使得主吸盘具备足够的真空吸附能力，然后由主吸盘对晶圆进行吸附，这样的结构设计可使得晶圆吸附装置可对翘曲的晶圆进行吸附，减少设备状况排除率，提高利用率，保障生产效率，具有良好的应用前景。