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应用于缺陷高度测量的方法及装置

基本信息

申请号 CN202210115378.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114152626A 公开（公告）日 2022-03-08
申请公布号 CN114152626A 申请公布日 2022-03-08
分类号 G01N21/88（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I 分类 测量；测试;
发明人 兰海燕;康时俊;沈曙光 申请（专利权）人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
代理机构 上海市汇业律师事务所 代理人 王函
地址 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种应用于缺陷高度测量的方法及装置，其中，方法包括将相机对准待检测缺陷；带动所述相机沿垂直于所述待检测缺陷的方向单向移动，并控制所述相机每移动系统预设间隔距离就进行一次拍摄，以拍摄到的各张图片中的各相邻像素点之间灰度差值的绝对值的总和与所述相机的位移距离为依据，获取所述待检测缺陷的高度。通过本发明的方法及对应的装置利用拍摄到的缺陷的照片的灰度差值的差异与相机的移动距离来获得缺陷高度，可基于普通相机也能满足对缺陷高度进行检测的需求，有效降低检测成本，提高适应性，且保障了检测的精度及检测的效率，有效控制产品的质量。