一种用于薄膜生长设备的偏置射频和直流电源的输送装置
基本信息
| 申请号 | CN202111427195.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114094386A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114094386A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | H01R13/622（2006.01）I;H01R4/60（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蔡宇航;金補哲;叶新浩;厉冰峰 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海老虎专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 葛瑛 |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于薄膜生长设备的偏置射频和直流电源的输送装置，包括：静电吸盘，所述静电吸盘的上部设置有连接头与静电吸盘之间固定连接，所述连接头的内部设置有内螺纹孔，所述连接头的上部设置有铜棍且铜棍的顶部设置有插接头，所述插接头与偏置匹配器之间相连接。本发明将铜条部分更换成铜棍，其横截为圆形，面积更大，可以满足更大的负荷电流，同时散热性能更好，减少发生电腐蚀的几率；偏置匹配器端将接头和铜棍合体，这样减少了一个腐蚀部位；将静电吸盘端做成分离结构，使得连接头依旧可以固定在静电吸盘背面，另一端可以通过螺纹拧进去，这样如果铜棍另一头发生腐蚀，可以直接拧下来更换，不需要打开腔体，分解静电吸盘。 |
