一种探针间距连续可调的探针检测头及探针检测装置

基本信息

申请号 CN201822164354.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209606482U 公开(公告)日 2019-11-08
申请公布号 CN209606482U 申请公布日 2019-11-08
分类号 G01R1/073(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 连程杰; 朱干军; 张家尧 申请(专利权)人 义乌臻格科技有限公司
代理机构 金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 代理人 义乌臻格科技有限公司
地址 322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路219号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种探针间距连续可调的探针检测头及探针检测装置。它包括有水平设置的基座,基座上设有根移动梁,每根移动梁的一端连接有一个压电陶瓷体,各压电陶瓷体的伸缩轴为水平设置,压电陶瓷体与基座为固定连接,所述的每根移动梁上均固定有一根竖直设置的探针,基座上还固定有一根固定探针,固定探针与三根探针的探测头均在同一水平面上。每个压电陶瓷体上都连接有电路,通过控制施加给每个压电陶瓷体的电压,就能控制压电陶瓷体的细微长度变化。压电陶瓷体的长度变化可以同步带动移动梁以及其上的探针发生移动,这样三根探针以及固定探针之间的间距就可以连续改变。