薄膜太阳能电池的制备方法及刻划装置、刻划控制系统

基本信息

申请号 CN201910160364.9 申请日 -
公开(公告)号 CN111653646A 公开(公告)日 2020-09-11
申请公布号 CN111653646A 申请公布日 2020-09-11
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈涛;李新连;刘德臣;赵树利 申请(专利权)人 北京合晟通科技有限公司
代理机构 北京金信知识产权代理有限公司 代理人 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司;北京合晟通科技有限公司
地址 100176北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制备方法及刻划装置、刻划控制系统,该方法包括:在完成所述第二刻划工序后还包括:获取第二刻划线的检测信息,所述第二刻划线的检测信息包括漏刻的第二刻划线的位置信息;在所述第三刻划工序中,在所述漏刻的第二刻划线对应的第三刻划线的预设位置处不进行第三刻划线的刻划。本发明能够起到对第二刻划工序出现漏刻的薄膜太阳能电池进行检测和修复,过程中无需进行人工操作,无需调整生产线,也无需对薄膜太阳能电池进行重新定位,操作简单,良品率较高。